01 技术突围，国产MFC崭露头角
半导体制造工艺对MFC的要求极为苛刻。在7纳米、14纳米等先进制程中，气体流量控制的精度直接决定晶圆表面薄膜沉积和刻蚀工艺的均匀性，影响芯片性能和良率。
青岛芯笙推出的两款MFC产品各有侧重：DF500专攻小流量控制，在精度和响应时间上具有优势，特别适配7nm/14nm先进制程；S700则拥有更宽的量程选择和工作温度范围，适合一般制程需求。
两款产品均采用国际领先的高速压电比例阀技术，结合自主开发的自适应动态控制算法，可在全量程流量范围内实现高精度快速控制。
“压电比例阀是MFC中的核心控制部件，与流量传感器形成闭环，实现气体流量的动态、快速调整。”公司研发中心负责人林博士表示，相较于国内主流的电磁比例阀，压电比例阀响应更快、控制精度更高，且具有极低的功耗和热噪声。
02 产业安全，核心部件的国产使命
在半导体制造领域，MFC被广泛应用于刻蚀、镀膜、清洗等关键工艺环节。它确保混合气体比例精确，维持装备真空度，控制工艺气体流量。
长期以来，高端MFC市场由 日本Horiba、美国Brooks 等国际巨头主导。国内企业产品多采用传统的电磁比例阀技术，在精度、可靠性和响应速度上难以满足半导体制造的严苛要求。
展开剩余65%在中美科技竞争持续的背景下，半导体核心零部件的自主可控已上升到产业链安全高度。青岛芯笙创始人陶继方博士指出：“作为一家本土传感器公司，我们追求高端极致，不在低端市场内卷，是我们破局的关键。”
芯笙的突破不仅是一个产品的成功，更是国产半导体设备核心零部件自主化的里程碑。公司明确表示将对半导体设备核心零部件逐一攻关，MFC只是其中一项突破。
03 研发筑基，创新生态的硬核支撑
芯笙微纳电子成立于2020年，孵化自山东大学，核心团队来自新加坡A*STAR、德国KIT、中科院、清华大学等国内外顶尖研究机构。
公司拥有全链条自主核心技术，覆盖流量传感芯片、模组、算法到系统集成各环节。目前已申请专利30余项，获得国家一级计量证书50余项。
在研发体系方面，公司建设有 “青岛芯笙-山东大学传感器测控联合实验室”、“青岛市气体流量测控技术重点实验室” 等多个研发平台，累计研发投入超过8000万元。
2024年底，公司凭借 “半导体核心零部件：气体流量测控技术与产业化” 项目，从全国3.5万个参赛项目中脱颖而出，在第九届“创客中国”中小企业创新创业大赛中挺进全国50强并荣获三等奖。
04 制造为本，品质体系的坚实保障
技术突破需要产业化能力支撑。芯笙微纳电子已建成800平米研发车间和4000平米制造车间，配备了100余台流量校准设备，建立了完整的研发制造体系。
公司严格执行 ISO9001质量管理体系和ISO14001环境管理体系 认证标准，确保产品的一致性和可靠性。3
在产业链协同方面，陶继方博士强调：“我们具有良好的生态环境，产品的保质保量交付离不开上游伙伴的强力支持，以及下游客户保持着密切的合作。”
这种协同创新的模式，使芯笙在光伏、环保、医疗等领域实现了国产化替代后，成功向半导体领域进军。23
2024年9月的半导体设备和核心部件展上，青岛芯笙首次展示了这两款MFC产品。专业观众驻足于展台前，询问技术细节的声音此起彼伏。
中国半导体行业协会的数据显示，国产半导体设备零部件自给率不足20%，像MFC这样的核心部件更是短板中的短板。芯笙的突围不仅是一个产品的成功上市，更标志着中国半导体产业在基础核心部件领域的技术攻坚迈出了坚实一步。
随着国内晶圆厂产能持续扩张，半导体级MFC的年需求量已超过10万台，市场空间巨大。青岛芯笙的下一步，是如何将实验室的技术突破转化为稳定的量产能力，真正实现 “从1到100” 的产业化跨越。
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